编者:中喷网 墨宸
2025年10月,上海傲睿科技有限公司自主研发的CMOS-MEMS智能微流控芯片,在广州增芯科技12英寸智能传感器晶圆制造产线成功流片下线。这是全球首颗基于12英寸CMOS-MEMS单片集成工艺制造的微流控芯片,将用于宽幅工业打印头,填补了国内相关技术空白。经过多轮工艺迭代改善,该芯片已通过晶圆级可靠性测试,目前晶圆已转入封装厂进行后段封装,完成最终测试后将正式投放市场。

近半年的数据跟踪显示,依托增芯12英寸产线,单颗芯片成本有望降低30%以上,生产效率提升100%。这一突破不仅意味着傲睿科技可以承接此前无力应对的大规模工业订单,也为进入对成本敏感的消费级市场、同时为生物医疗等新兴领域研发留出了空间。
海归博士创业,深耕智能微流控
傲睿科技由关一民、徐飞、马青华三位海归博士于2018年创立,专注于智能微流控技术。关一民曾在海外从事微流控研究近20年,拥有70多项专利,其中包括50多项美国专利。2015年,他获悉上海微技术工业研究院将建设8英寸MEMS晶圆厂后,决定回国创业,并买下美国团队的智能微流控技术专利。
2019年7月,公司验证一英寸打印芯片;2020年8月发布首款自主研发的CMOS-MEMS喷墨打印芯片,成为国内首家实现国产打印芯片量产的企业。该芯片打印精度达1200dpi,耐用超3万页,性能对标国际同类产品,主要应用于消费级打印头。2025年1月,傲睿科技完成近亿元新一轮融资,由兴橙资本领投,老股东上海新微技术工研院跟投。
从8英寸到12英寸的跨越
上海微技术工业研究院的8英寸MEMS中试线是傲睿科技的技术起点。正是在这条线上,傲睿完成了从技术验证到产品量产的跨越。然而,当傲睿向宽幅工业打印头市场拓展时,8英寸产线在成本和产能上的局限逐渐显现。宽幅工业打印头对成本控制和大规模量产能力要求更高,傲睿此前规划的"以消费级产品利润反哺高端技术研发"路径受阻。
转机出现在2024年。傲睿团队在一次行业会议上与增芯科技创始人交流,彼时,增芯已建成国内首条12英寸智能传感器晶圆制造产线。增芯科技12英寸晶圆制造项目于2024年6月28日在广州增城投产启动,是国内首条、全球第二条12英寸MEMS智能传感器晶圆制造产线,一期投资70亿元,项目一期产能预计于2025年底达到2万片/月。双方探讨了12英寸产线对宽幅工业打印头的价值——更大尺寸、更低成本、更高精度、更高产能。这正是傲睿长期寻求的突破方向。事后回忆起那次会面,傲睿团队直言:"当时很激动,感觉终于找到组织了。"
战略合作打开规模化之门
2025年1月,傲睿科技与兴橙资本、增芯科技、越海集成、广东工研院签署战略合作协议,形成"制造+封装+投资"的一站式合作模式。兴橙资本作为牵头方,不仅提供资金支持,还整合了增芯科技的12英寸CMOS制造、越海集成的先进封装以及广东工研院的应用研发能力,构建起"12英寸CMOS+MEMS+封装"三位一体的综合性技术平台。
同年10月,傲睿芯片在增芯12英寸产线流片成功。2025年6月,广东越海集成技术有限公司首批MEMS制造设备正式入驻厂区,标志着越海集成国内首条12英寸CMOS-MEMS智能微流控芯片量产线建设全面启动,首期将达到每月1500片喷墨打印芯片产量。
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