编者：中喷网 墨宸
近期，上海傲睿科技有限公司（以下简称“傲睿科技”）在广州增芯科技有限公司（以下简称“增芯科技”）的 12 英寸 MEMS 晶圆制造平台上，成功实现了一款基于 CMOS-MEMS 工艺的智能微流控芯片（微流控喷墨打印头芯片）流片下线。该成果标志着我国 首颗基于 12 英寸 MEMS 工艺制造的微流控芯片 成功问世，将为宽幅工业打印头国产化提供关键突破。
一、技术背景：微流控 + CMOS-MEMS 工艺叠加
什么是微流控芯片？
微流控芯片（Micro Fluidics Chip）是利用微米至亚毫米尺度的流道、腔室、阀门等结构，对液体（墨水、生物液体、细胞悬液、反应试剂等）进行精确操控的芯片结构。
其典型应用包括喷墨打印头、生物打样、数字液滴、细胞打印/分选、快速检测等。
CMOS-MEMS 是关键路径
傲睿科技的核心技术之一即为“CMOS 兼容 MEMS 微流控工艺”，即在 CMOS（传统电子集成电路）流程基础上，结合 MEMS（微机电系统）工艺结构，实现液体驱动、传感与控制电路在同一晶圆或同构工艺平台上的高度集成。
在喷墨打印头领域，典型结构包括热发泡驱动、微流道结构、薄膜驱动膜、闭环温度控制、液滴喷射控制等。
12 英寸 MEMS 晶圆线的突破
制造微流控芯片的工艺，从以往的 8 英寸流程（傲睿科技此前即依托 8 英寸 MEMS 工艺线开展）
升级至 12 英寸规模，意味着更大尺寸晶圆、更高吞吐、更低单位成本，以及更大规模集成能力。增芯科技建设的 12 英寸 MEMS 晶圆制造项目已于 2024 年中完成投产启动。
因此，本次傲睿科技基于该平台所流片下线的微流控芯片，是我国在该赛道上的一个 里程碑式突破。
二、产业意义：填补国内空白、突破“卡脖子”壁垒
打印头领域的国产化难题
在宽幅工业打印、消费级喷墨打印、生物打印等领域，喷墨打印头作为核心部件，其芯片往往依赖国外 IDM（集成器件制造商）或海外供应链。国内在高精度、高可靠性、宽幅打印头芯片这一环节长期受制于人。
因此，微流控芯片国产化是打印系统国产化最为关键的一环。
此次突破的意义
傲睿科技此次实现“基于 12 英寸 MEMS 工艺”的微流控芯片流片下线，标志其制造工艺升级迈入新阶段。
借助增芯科技的 12 英寸产线平台，产业化能力将大幅提升，有助于规模化、低成本量产。
从“填补国内空白”角度来看，这是我国首颗基于 12 英寸 MEMS 工艺的微流控芯片，有望在打印头等应用中实现国产替代。
综合来看，这一突破对于提升我国打印设备、工业打印头、生物打印等下游产业的自主可控能力具有重要意义。
延伸至微流控＋生物医疗等领域
傲睿科技不仅服务打印头市场，其智能微流控芯片还已延伸至生物打印、数字液滴、单细胞分选等高端应用。
因此，基于 12 英寸 MEMS 工艺的芯片量产能力提升，亦有望为生物医疗、生命科学等领域提供更强支撑。
三、产业前景与战略思考
产业化规模与成本控制
虽然 12 英寸工艺规模优势显著，但真正实现高良率、高量产仍具挑战。
傲睿科技基于该平台流片，下一步需聚焦良率提升、客户交付、量产放量。
应用拓展与市场渗透
随着国内打印设备、工业打印、生物打印市场的升级，对打印头芯片规格、性能要求也在快速提升。傲睿科技下一步可借助该芯片为多品牌、多类型打印头客户提供解决方案。
此外，微流控芯片在生物医疗、精准诊断、数字液滴等领域仍有巨大潜力。技术平台升级后，傲睿科技可扩展至更多应用场景。
国产供应链自主可控方向
从产业链角度来看，“芯片–模组–打印头–整机”构成打印系统关键链条。此次突破强化了“芯片”环节的国产化，未来若能向模组及头部集成环节延伸，将进一步提升整体国产替代率。
技术与产业化的双重考验
工艺成熟度：12 英寸 MEMS + 微流控 这一组合，目前全球尚属少数。要实现高良率、低缺陷、稳定量产，时间成本不可低估。
市场竞争与专利壁垒：打印头、喷墨技术长期被国外厂商深耕，专利壁垒、系统集成壁垒仍需持续突破。
整机适配：芯片虽关键，但其与喷头、整机、墨水、驱动算法、拼接结构等环节都须深度配合，才能真正实现系统级竞争力。
此次上海傲睿科技在广州增芯科技 12 英寸 MEMS 晶圆线上流片下线微流控芯片，是我国在微流控芯片制造工艺、宽幅打印头芯片国产化方面的一个重要标志性进展。它不仅在技术路径上实现突破，也在产业链自主可控的方向上迈出坚实一步。未来，随着量产推进、生态链完善、应用场景扩展，中国在打印头、微流控、生物打印等领域或将迎来新的国产替代浪潮。
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